EUV光源系统样机首亮相最快三年量产 - 香港动态

EUV光源系统样机首亮相最快三年量产 文汇报 香港文汇报讯正在国家会展中心（上海）举行的第二十六届中国国际工业博览会上，中国半导体设备研发企业朗道燧岩（上海）科技有限公司（朗道燧岩）首次公开展示了一台EUV光源系统样机。这是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机，被称作高端光刻机的心脏。 国产化率达90% 极紫外光源是7nm及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制，是制约中国高端芯片自主可控的关键环节。现场工作人员介绍，本次展出的光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。不过，该光源系统距离量产仍需3至5年时间。 朗道燧岩官网显示，其低功率EUV光源系统FlintNano LPP-OXXO已处于产品化阶段，驱动激光功率为1000W，激光频率1至20kHz，转换效率大于2%，EUV能量大于15W，持续工作时间超过100小时，等离子体尺寸60微米。高功率极紫外光源系统FlintMicro-LPP系列则已完成原理论证。 另外，在今年湾芯展上，新凯来旗下万里眼带来的90GHz超高速实时示波器成为展会焦点。万里眼工作人员透露，该产品目前需求旺盛，已进入多家国内头部客户的研发测试环节，产能有点跟不上。 这款示波器带宽达90GHz，位居全球第二，打破了西方国家对中国60GHz以上实时示波器的出口管制。它采用全新慧眼架构，采样率高达每秒2,000亿次，存储深度达40亿样点，能够精准捕获并分析纳米芯片的瞬态信号。万里眼CEO刘桑透露，产品已实现商用，下单后5至8周可交付，已在华为等多家企业和科研单位应用。